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上海微电子装备(集团)股份新增光刻机专利

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发表于 2024-11-4 10:03 | 显示全部楼层 |阅读模式

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#a股##财经# 【光刻机】

上海微电子装备(集团)股份新增光刻机专利:基板加热承载装置及半导体机台、投影物镜及光刻机、曝光投影物镜及光刻机——重点:永新光学、华软科技、张江高科等 ​​​
 楼主| 发表于 2024-11-4 11:14 | 显示全部楼层
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 楼主| 发表于 2024-11-4 11:15 | 显示全部楼层
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