马斯克瞄准EUV光源

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【马斯克瞄准EUV光源：FEL技术受青睐 芯片成本或迎变革】继造车、火箭、人形机器人之后，马斯克正将目光投向芯片制造核心环节——EUV光源。相较于目前成熟商用的LPP技术，马斯克对自由电子激光（FEL）表达出明显的青睐。自由电子激光（FEL）理论上可大幅降低先进芯片生产成本，但目前仍处于早期研发阶段。