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发表于 2026-7-8 11:34
以0.001纳米精度支撑造芯!同济团队用光和原子打造超级标尺|国家科技奖
【以0.001纳米精度支撑造芯!同济团队用光和原子打造超级标尺|国家科技奖】由同济大学牵头完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目,通过20多年攻关,团队巧妙利用了原子量子跃迁的稳定特性,打造出皮米精确度的精密“标尺”,制造出一系列纳米级长度和角度国家标准物质,为集成电路等先进纳米制造的发展提供了有力支撑。7月8日,该项目荣获2025年度国家科技进步奖一等奖。
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