国产替代空间广阔
台积电、ASML等全球巨头近期相继上调全年资本开支与营收指引，产能扩张意愿强烈，也为国内设备企业提供了广阔的国产替代空间。
其中台积电将2026年资本开支（Capex）预算由520～560亿美元上调至600～640亿美元，年内二度上修，中值较年初提升15%。而ASML将2026年全年营收指引由360-400亿欧元上调至430～450亿欧元。
中信建投研报认为，半导体设备零部件板块正处于双重自主可控趋势叠加的背景下：一方面AI驱动下游扩产景气周期开启，设备端国产化率提升背景下，零部件市场整体空间打开；另一方面，关键零部件整体国产化率偏低，高端产品自主可控发展尚处于早期。
该机构进一步分析，全球半导体设备零部件正经历一轮罕见的全链条涨价潮，半导体产业链的定价权正从芯片终端向设备与零部件环节结构性上移，而零部件企业规模较小、固定成本占比较高，涨价有望直接转化为利润。
华泰证券研报表示，中国半导体设备市场在经历了2023/2024的提前囤货，2025/2026的去库存之后，在长江存储、长鑫科技等存储厂商扩产的拉动下，2027年有望恢复强劲增长。
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